氮化硅陶瓷

氮化硅（Si₃N₄）兼具高机械强度、高断裂韧性、优异的抗热冲击性能和较低的密度，是性能最均衡的先进工程陶瓷之一。即使在高温、高载荷及剧烈温度变化等严苛工况下，仍能保持稳定可靠的性能，因此广泛应用于半导体设备、汽车、航空航天、高速轴承及工业机械等领域。

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加工能力

氮化硅（Si₃N₄）加工难度较高，对加工工艺和精度控制要求严格。依托先进的加工设备，我们能够制造复杂几何结构、高精度及高表面质量的氮化硅陶瓷零件，并有效控制崩边和微裂纹，满足高端工业应用的需求。

公差 ±1μm

平面度 1μm (Φ300)

微孔 0.3mm

粗糙度 Ra0.005μm

内螺纹 M2.0

最大尺寸 400*400mm

优势

高强度和高断裂韧性
优异的抗热冲击性
高温下仍能保持优异的机械性能
优异的耐磨性和耐腐蚀性
低密度
良好的导热和电绝缘性能

性能参数

下表列出了我公司氮化铝陶瓷的材料特性。这些参数仅供参考，不同批次的产品可能存在细微差异。

机械性能	单位	氮化硅
密度	g/cm³	3.2
硬度	GPa	15
抗弯强度	MPa	1000
抗压强度	MPa	3000
弹性模量	GPa	320
断裂韧性	MPa·m^1/2	8
泊松比	—	0.26
杨氏模量	GPa	320

热学性能	单位	氮化硅
热导率	W/m·K	25
熔点	°C	1900
比热容	J/g·K	0.71
热膨胀系数	×10⁻⁶/K	3.2
最高工作温度	°C	1400

电学性能	单位	氮化硅
介电常数	1 MHz	8
绝缘强度	V/µm	>10
介电损耗	1 MHz	0.001
体积电阻率	Ω·cm	10¹⁴

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应用

晶圆处理部件、真空设备部件
轴承和涡轮机部件发动机部件
涡轮增压器转子泵密封
高温结构件
耐磨结构件

常见问题

氮化硅陶瓷的断裂韧性是多少？

氮化硅（Si₃N₄）具有极高的断裂韧性，在常见的工程陶瓷中仅次于氧化锆。这使得它比氧化铝或碳化硅等材料更耐开裂和机械冲击。

在氮化硅（Si₃N₄）上可加工的最小孔径和螺纹尺寸是多少？

我们可以加工最小孔径为Ø0.3毫米、内螺纹规格从M2.0起的氮化硅零件。由于该材料硬度高，加工难度较大，需要精确的工艺控制以避免崩边。

你们提供氮化硅陶瓷的定制加工服务吗？

是的，我们可根据您的图纸和规格提供定制氮化硅元件的精密加工服务。

氮化硅是否适用于高速或耐磨应用？

是的，由于其摩擦系数低、耐磨性高，因此被广泛用于轴承和旋转部件中。

Macor is a machinable glass-ceramic made from fluorophlogopite mica crystals embedded in a borosilicate glass matrix. This composition gives it a rare
combination of metal-like machinability, excellent electrical insulation, low thermal conductivity, and stability up to 1000°C (no load) while maintaining very tight tolerances.