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超高真空兼容易于加工

Macor可加工陶瓷

MACOR® 可加工玻璃陶瓷（MGC）由康宁公司开发，是一种兼具先进陶瓷性能和优异可加工性的高性能材料。它可采用标准金属刀具进行加工，无需金刚石工具即可实现复杂几何结构、高精度尺寸及优异表面质量。凭借零孔隙率、无气体逸出、优异的电绝缘性能、良好的热稳定性和尺寸稳定性，常应用于半导体、航空航天、超高真空、量子技术、医疗及科研设备等领域。

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加工能力

我们专注于为真空、量子光学、半导体和先进科研系统提供MACOR®和SHAPAL™ HI-M元件的精密定制加工。凭借3轴至5轴加工能力，我们能够提供具有严格公差、高平面度和高粗糙度的复杂几何形状零件，为超高真空（UHV）、高温及高电绝缘等应用提供可靠的精密零件

Macor Machining Capability
公差 ±1um
平面度 2um(300*300)
粗糙度 Ra0.03μm
微孔 0.05mm
内螺纹 M1.2
最大尺寸 330*330*57mm

优势

  • 使用标准金属加工工具即可轻松加工——无需后续烧结。
  • 超高精度：高达 0.0005 英寸（0.013 毫米）。
  • 无孔隙，适用于超高真空环境：零放气，是真空系统的理想选择。
  • 耐高温稳定性：可在高达 1000 摄氏度的温度下连续使用。
  • 优良的绝缘体：导热系数低。
  • 耐化学腐蚀：能耐受酸、碱和溶剂。
  • 高强度刚性：高温下无蠕变或变形。

特性

MACOR® 兼具优异的可加工性、电绝缘性能和尺寸稳定性，其典型物理、机械及热学性能如下

热学性能 SI/公制 英制
线膨胀系数 @ -100°C – 25°C 81 × 10⁻⁷ /°C 45 × 10⁻⁷ /°F
线膨胀系数 @ 25°C – 300°C 90 × 10⁻⁷ /°C 50 × 10⁻⁷ /°F
线膨胀系数 @ 25°C – 600°C 112 × 10⁻⁷ /°C 62 × 10⁻⁷ /°F
线膨胀系数 @ 25°C – 800°C 123 × 10⁻⁷ /°C 68 × 10⁻⁷ /°F
比热容 @ 25°C 0.79 kJ/kg·°C 0.19 Btu/lb·°F
热导率 @ 25°C 1.46 W/m·°C 10.16
热扩散率 @ 25°C 7.3 × 10⁻⁷ m²/s 0.028 ft²/hr
连续工作温度 800°C 1472°F
最高空载温度 1000°C 1832°F
机械性能 SI/公制 英制
密度 2.52 g/cm³ 157 lbs/ft³
孔隙率 0% 0%
杨氏模量 @ 25°C 66.9 GPa 9.7 × 10&-6; PSI
泊松比 0.29 0.29
剪切模量 @ 25°C 25.5 GPa 3.7 × 10&-6; PSI
努氏硬度 (100g) 250 kg/mm² —
断裂模量 @ 25°C 94 MPa (最小值) 13,600 PSI
抗压强度 345 MPa (最高可达 900) 49,900 PSI
电学性能 SI/公制 英制
介电常数 @ 25°C — —
  @ 1 kHz 6.01 6.01
  @ 8.5 GHz 5.64 5.64
损耗角正切 @ 25°C — —
  @ 1 kHz 0.004 0.004
  @ 8.5 GHz 0.0025 0.0025
绝缘强度 (交流 AC) 45 kV/mm 1143 V/mil
绝缘强度 (直流 DC) 129 kV/mm 3277 V/mil
直流体积电阻率 10¹⁷ Ohm·cm 10¹⁷ Ohm·cm

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Macor ceramics application

应用

  • 超高真空：馈通件、绝缘体。
  • 半导体：夹具、精密零件。
  • 科学仪器：质谱仪、离子阱。
  • 医疗：外科手术和诊断组件。
  • 航空航天/推进系统：离子推进器绝缘体。
  • 等离子高压：电极支架、结构支撑。
  • 线圈磁性材料：高精度线圈骨架。

案例

查看我们使用五轴加工来加工复杂结构

常见问题解答

Macor定制零件通常需要多长时间？
由于 Macor 无需后续烧结，我们提供快速原型制作服务，最短交货周期仅为 5-10 个工作日。我们还提供材料性能对比和选型建议（例如，Macor 与 Shapal HI-M 的对比），帮助您选择最具成本效益的解决方案。
经机械加工的Macor零件是否需要额外的热处理？
不。Macor的主要优势之一是其在加工过程中和加工后都能保持尺寸稳定性。与其他工程陶瓷不同，Macor无需后续烧制，因此不会出现收缩或变形。
Macor可加工的最小壁厚是多少？
我们可以根据零件几何形状和设计要求，加工壁厚最小为 0.05 毫米的 Macor 零件。
Macor 能实现的最小孔径和槽宽是多少？
根据组件设计，我们的精密加工能力可使 Macor 零件的最小孔径达到 0.05 毫米，最小槽宽达到 0.2 毫米。
你们是否支持对 Macor 组件进行金属化、涂层或钎焊处理？
是的，我们支持 Macor 组件的金属化、涂层和钎焊工艺，从而实现与金属的可靠连接或增强特定应用的表面性能。

Macor is a machinable glass-ceramic made from fluorophlogopite mica crystals embedded in a borosilicate glass matrix. This composition gives it a rare
combination of metal-like machinability, excellent electrical insulation, low thermal conductivity, and stability up to 1000°C (no load) while maintaining very tight tolerances.

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