Low-thermal-expansion-cordierite
超低热膨胀尺寸稳定性佳

堇青石超低膨胀陶瓷

超低膨胀堇青石具有接近零的热膨胀系数和优异的尺寸稳定性,20–300°C热膨胀系数可低至约 0±0.02×10⁻⁶/K。可作为微晶玻璃及低膨胀玻璃陶瓷的替代材料,适用于半导体、精密光学、三维测量、望远镜及精密计量设备。

加工能力

钧杰专注于超低热膨胀堇青石的精密加工,为半导体制造设备、精密光学设备、三维测量机、望远镜及其他高精度设备提供定制化零部件加工。

我们可根据客户图纸加工堇青石基板、块体、反射镜坯及复杂结构件,支持异形轮廓、安装孔、定位孔、槽、曲面等结构加工,并可进一步进行精密磨削、抛光及镜面加工。

Low-expansion-cordierite-mirror
公差 ±1μm
平面度 1μm (Φ300)
平行度 1μm
粗糙度 Ra0.01μm
微孔 0.1mm
最大尺寸 Ø450mm

优势

  • 室温下热膨胀系数 (CTE) 极低,接近零膨胀
  • 与Zerodur相比,刚性更高,重量更轻
  • 无孔结构,可支持镜面抛光
  • 支持复杂形状加工
  • 耐化学腐蚀性
  • 绝佳的尺寸稳定性

性能参数

下表列出了超低热膨胀堇青石陶瓷的性能参数。这些数值仅供参考,可能因批次条件略有不同。

机械性能 单位 堇青石
密度 g/cm³ 2.49
维氏硬度HV9.807N GPa 8
弯曲强度 MPa 191
抗压强度 MPa 1800
弹性模量 GPa 140
断裂韧性 MPa·m¹/² 1-1.5
泊松比 0.31
吸水率 % 0
热性能 单位 堇青石
热膨胀率 50℃~300℃(x10⁻³) 0.23
热膨胀率 50℃~900℃(x10⁻³) 1.41
20℃热导率 W/(m·K) 4
比热容 J/(g·K) 0.71
线性热膨胀系数50℃~450℃ ×10⁻⁶/K 0.76
线性热膨胀系数50℃~900℃ ×10⁻⁶/K 1.12
电气特性 单位 堇青石
介电强度 kV/mm 19.1
体积电阻率 20℃/Ω·cm >10¹⁴
介电常数(1MHz) ×10⁻⁴ 4.9
介电损耗角(1MHz) ×10⁻⁴ 9

您对我们的堇青石陶瓷解决方案感兴趣吗?

Applications-of-Low-Expansion-Cordierite

应用

  • EUV/DUV光刻机
  • 光学反射镜
  • 真空吸盘
  • 对齐平台
  • 静电吸盘,电动真空吸盘
  • 精密光学系统
  • 超稳定光学腔垫片
  • 卫星光学望远镜

案例

常见问题

你们能提供哪种堇青石

我们主要提供两类低膨胀堇青石:国产低膨胀白色堇青石日本NEXCERA超低膨胀陶瓷。普通常见的堇青石材料目前不提供。

超低膨胀堇青石可以替代微晶玻璃吗?

可以用于部分微晶玻璃的应用场景,但目前微晶玻璃仍是相关精密设备中的主流材料。超低膨胀堇青石主要作为一种替代方案,适用于对热稳定性和机械加工有特定要求的应用。

你们可以加工堇青石吗?

可以。我们提供堇青石的CNC加工、精密磨削、抛光、钻孔及复杂结构加工,可根据客户图纸加工定制零部件。

Macor is a machinable glass-ceramic made from fluorophlogopite mica crystals embedded in a borosilicate glass matrix. This composition gives it a rare
combination of metal-like machinability, excellent electrical insulation, low thermal conductivity, and stability up to 1000°C (no load) while maintaining very tight tolerances.