Fused-Silica-Glass
高透光率低热膨胀系数

熔融石英玻璃

熔融石英玻璃因其优异的物理化学性能,被广泛应用于半导体、光学和科学研究等高科技领域。它由高纯度二氧化硅(SiO₂,>99.9%)的非晶态材料构成,不含其他氧化物,具有极低的杂质含量。

加工能力

凭借先进的精密加工技术,我们能够实现熔融石英的复杂几何结构、曲面、薄壁及轻量化零件的高精度加工。同时,我们提供抛光、镀膜、喷砂及表面粗化等表面处理工艺,以满足半导体、光学、激光及科研等领域对尺寸精度、表面质量和功能性能的严苛要求。

Fused Silica Glass Machining
公差 ±1um
平面度 1 µm (Ø300 mm)
平行度 1 µm
粗糙度 Ra 0.002 µm
最小孔径 0.1mm
最大尺寸 Φ400mm

优势

  • 高机械强度
  • 高纯度(>99.9% SiO₂)
  • 极低的热膨胀系数
  • 高电阻率
  • 优异的耐化学腐蚀性
  • 高透光率(紫外至红外波段)

性能参数

下表列出了我们标准熔融石英材料的性能参数。这些数值来源于内部测试和生产批次的统计分析,仅供设计参考。实际性能可能因加工条件和批次差异而略有不同。

材料性能 单位 熔融石英
密度 g/cm³ 2.2
抗弯强度 MPa 80
抗压强度 MPa 1100
弹性模量 GPa 220
泊松比 0.17
杨氏模量 GPa 72
热学性能 单位 熔融石英
热导率 W/m·K 1.38
熔点 °C 1730
最高工作温度 °C 1200
线膨胀系数 10⁻⁶/K 0.55
电学性能 单位 熔融石英
介电常数 1 MHz 3.75
击穿电压 V/cm 400
介电损耗 1 MHz <
电阻率 Ω·cm > 10¹⁸

您对我们的熔融石英玻璃解决方案感兴趣吗?

Fused Silica Glass Applications

应用

  • 紫外透镜、激光窗口、反射器基板
  • 红外/紫外窗口、高速飞机窗口
  • 激光腔光学元件
  • 光谱仪和色谱仪的光路组件
  • 微结构器件、光阱结构、真空腔窗口
  • 干涉仪、陀螺仪基板
  • 高温气体传感器窗口
  • 晶圆承载盘、石英刻蚀环

案例

熔融石英玻璃的五轴加工

常见问题

什么是 JGS1 熔融石英?

JGS1熔融石英是一种紫外级光学石英材料,具有高纯度、优异的紫外透射率(185–2500 nm)及卓越的热稳定性。它是中国GB/T 31447.1光学熔融石英标准所定义的三个等级(JGS1、JGS2、JGS3)之一。JGS1:紫外级,最适用于深紫外及精密光学领域;JGS2:标准光学级,适用于可见光至红外波段;JGS3:红外级,是热学或红外应用的理想选择。

我们提供的熔融石英零件加工服务
高精度加工能力:
复杂形状:公差可达 ±1μm
圆柱/轴类零件:公差可达 ±1μm
表面平面度:可达 1μm
光学平面度:可达 1/20λ
微孔:孔径最小可达 0.1mm(公差 ±0.01mm)
表面粗糙度:结构件 Ra 0.01μm,光学元件 Ra 0.002μm
表面处理:抛光、光学镀膜
熔融石英与 Zerodur 和 ULE 玻璃相比如何?

熔融石英是最常用的低热膨胀系数(CTE)玻璃材料之一。与肖特(SCHOTT)的Zerodur和康宁(Corning)的ULE玻璃相比,熔融石英的热膨胀系数略高,但它具备优异的光学透过率、良好的热稳定性以及更低的成本。

正是由于这种性能与成本效益之间的平衡,熔融石英被广泛应用于光学、激光及半导体设备领域。

熔融石英玻璃与蓝宝石玻璃有什么区别?
这两种材料在光学和高精度应用领域均表现出色。蓝宝石属于单晶氧化铝,而熔融石英则是高纯度二氧化硅玻璃。蓝宝石具有更高的硬度和更强的抗划伤能力;相比之下,熔融石英的热膨胀系数低于蓝宝石,因此具备更佳的尺寸稳定性。在光学性能方面,熔融石英更适合紫外波段的应用,而蓝宝石则更适用于对耐用性和硬度有较高要求的场合。
你们可以给熔融石英玻璃镀膜吗?
可以,我们支持熔融石英元件的镀膜。此外,我们还能根据客户需求提供多种表面处理工艺,包括:喷砂/表面粗化、精密抛光以及薄膜镀膜。这些工艺有助于提升光学性能、改善表面特性或增强功能,以满足各类光学及半导体应用的需求。

Macor is a machinable glass-ceramic made from fluorophlogopite mica crystals embedded in a borosilicate glass matrix. This composition gives it a rare
combination of metal-like machinability, excellent electrical insulation, low thermal conductivity, and stability up to 1000°C (no load) while maintaining very tight tolerances.